发布日期：2024-07-20 07:22 点击次数：135
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记者27日从西湖大学获悉，由该校孵化的西湖仪器（杭州）本领有限公司（以下简称“西湖仪器”）得胜设备出12英寸衬底自动化激光剥离本领，搞定了12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片贫乏。
与传统的硅材料比较，碳化硅具有更宽的禁带能隙以及更高的熔点、电子迁徙率和热导率，可在高温、高电压条目下褂讪职责，已成为新动力和半导体产业迭代升级的要害材料。
“当今，碳化硅衬底材料老本居高不下，严重阻截了碳化硅器件的大范畴期骗。”西湖大学工学院讲席解说仇旻先容，碳化硅行业降本增效的迫切途径之一，是制造更大尺寸的碳化硅衬底材料。与6英寸和8英寸衬底比较，12英寸碳化硅衬底材料扩大了单片晶圆上可用于芯片制造的面积，在同等分娩条目下，可显贵升迁芯片产量，同期诽谤单元芯片制形老本。
▲碳化硅衬底激光剥离系统。图片开端：西湖大学
据外洋泰斗商榷机构接头，到2027年，寰宇碳化硅功率器件商场范畴将达67亿好意思元，年复合增长率达33.5%。客岁底，国内企业显露了最新一代12英寸碳化硅衬底。12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片需求随之出现。
此前，西湖仪器已最初推出8英寸导电型碳化硅衬底激光剥离设立。为反应最新商场需求，西湖仪器马上推出超大尺寸碳化硅衬底激光剥离本领，将超快激光加工本领期骗于碳化硅衬底加工行业，完成了联系设立和集成系统的设备。
“该本领兑现了碳化硅晶锭减薄、激光加工、衬底剥离等经过的自动化。”仇旻先容，与传统切割本领比较，迪士尼彩乐园登录激光剥离经过无材料损耗，原料损耗大幅下跌。
仇旻说，新本领可大幅诽谤衬底出蓦然间，适用于将来超大尺寸碳化硅衬底的范畴化量产，进一步促进行业降本增效。开端 | 科技日报
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