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发布日期：2025-01-22 00:03 点击次数：183
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开头：本体来自semiwiki，谢谢。
重心归来：
跟着间距尺寸的减小，EUV 光刻濒临着电子疲塌、立时性和偏振的挑战。
电子疲塌导致的对比度损爽约为 50%，显贵影响立时波动。
偏振效应正日益成为一个令东说念主担忧的问题，导致图像质地下落。
跟着间距的束缚削弱，电子疲塌、立时性和当今的偏振，齐在 EUV 光刻中产生越来越强的影响。
跟着 EUV 光刻工夫的束缚发展，倡导是越来越小的间距，新的物理截止束缚涌现，成为宽广的拦阻。遥远以来，立时效应已被觉得是要害挑战，而电子疲塌最近也赢得了深刻扣问 [3]，当今偏振效应正日益成为图像质地下落的一个令东说念主担忧的问题。跟着行业向 2nm 节点迈进，这些影响酿成了一场无缺风暴，恫吓着 EUV 印刷特征的质地。疲塌和偏振导致的对比度圆寂使得立时波动更有可能逾越印刷阈值。
图 1 骄气了在 0.55 NA EUV 光刻系统上，18 nm 间距的偏振、疲塌和立时性的详尽影响。偶极子引起的衰减 [6] 被忽略，因为它是一个相对较小的影响。若是假定非偏振光 [5]，则对比度圆寂为 14%，但电子疲塌对加重图像中的立时电子算作的影响更为显贵（约 50% 的对比度圆寂）。总对比度圆寂是通过将偏振引起的对比度裁减与电子疲塌引起的对比度裁减相乘赢得的。
图 1. 0.55 NA 13.5 nm 波长 EUV 光刻系统投影的 9 nm 半间距图像。不包括图像衰减 。右侧骄气了假定的电子疲塌。中心处的立时电子密度图假定非偏振光（50% TE，50% TM）。假定使用 20 nm 厚的金属氧化物光刻胶（20/um 接纳）。
独行侠缺少了核心，尽管欧文状态神勇，奈何队友的支援不够多。此战欧文27投14中，迪士尼彩乐园三分球14中5，罚球6中6，得到39分4篮板2助攻。爱德华兹赛后称赞了欧文：“对我来说，他是最伟大的控卫。只要他找到了状态，那就太难防了。我们在最后时刻都投进了一些关键球。他知道他是我有史以来最喜欢的控卫。”
边际“鄙俚度”绝顶严重，足以被视为弱势。立时波动逾越印刷阈值的概率不成忽略。跟着间距的减小，咱们应该预期这种情况会变得更糟，因为电子疲塌的影响愈加严重，以及非偏振光导致的对比度圆寂（图 2）。
图 2. 图像对比度的裁减跟着间距的减小而恶化。电子密度中的立时波动也相应地变得愈加严重。除了间距以外，使用的假定与图 1 疏导。
请考究，即使关于 14 nm 间距的情况，从 TE 偏振到非偏振导致的 23% 的对比度圆寂仍然小于电子疲塌导致的对比度圆寂（约 60%）。跟着间距的束缚减小，偏振的影响将加多，同期疲塌的影响也将加多。正如上述示例中提到的，尽管偏振被光刻界觉得是日益令东说念主担忧的问题，但电子疲塌导致的对比度裁减仍然更为显贵。因此，咱们必须预期对 EUV 特征可印刷性和立时图像波动的任何灵验的分析齐应包含一个推行的电子疲塌模子。
https://semiwiki.com/lithography/354401-a-perfect-storm-for-euv-lithography/
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