发布日期：2024-02-28 02:35    点击次数：52

近期，深圳一家企业片刻“出圈”，成为世东谈主留神标焦点。

在近日举办的上海SEMICON China 2025半导体缓期间，国产芯片开导公司“新凯来”激勉媒体蚁合报谈，以至被觉得是“半导体开导界限的DeepSeek”！其发布6大类31款新品，遮掩刻蚀居品、扩散居品、薄膜居品以及物理量测、X射线量测、光学量检测6大类，更是激勉公众高度怜惜。

具体来说，新凯来正在诳骗多重图形曝光等时间提高芯片制造工艺，公布包括扩散外延千里积EPI开导（峨眉山系列）、RTP（三清山系列）、原子层千里积ALD开导（山系列）、物理气相千里积PVD开导（普陀山系列）、刻蚀ETCH开导（武夷山系列）、薄膜千里积CVD开导（长白山系列）和量检测开导(包括岳麓山、丹霞山、蓬莱山、莫干山、天门山、沂蒙山、赤壁山及功率检测RATE系列）居品。

这次是新凯来确立近四年来初次对外公开居品线，也被市集称为国产芯片开导的“要紧杂乱”。深圳梦发现，这31款新品顶用了13座中国名山定名，令东谈主印象深入，大有登峰之寓意！对深圳而言，这或像深圳DeepSeek级引爆。

新凯来全称是“深圳市新凯来时间有限公司”，确立于2021年8月，附庸于深圳市要紧产业投资集团，是深圳国资委全资子公司。其盘算理念为“一代工艺、一代材料、一代装备”，业务范围涵盖半导体装备及零部件研发和制造，半导体制造过程中所需的要害开导和零部件等。

值得留神的是，在本年Semicon China同期举办的IC产业链国际论坛-制造开导与制程分论坛上，新凯来工艺装备居品线总裁杜立军发表了题为《半导体工艺装备的机遇与挑战》的演讲，信息量很大。他在演讲中发出灵魂之问：“第四代工业立异呼之欲来，东谈主工智能产业给半导体行业带来的宽敞的空间。在这种趋势下，咱们的问题是——中国脉土的半导体装备产业到底能给咱们半导体的发展孝顺什么样的份额？孝顺什么样的时间力量来推动咱们所有这个词产业一块跳跃？”深圳梦特殊在此保举，供群众参考。

新凯来工艺装备总裁杜立军，演讲全文

在刚末端的SEMICON CHINA上，深圳市新凯来工业机械有限公司工艺装备居品线总裁杜立军先生发表了题为《半导体工艺装备的机遇与挑战》的演讲。杜立军先生曾在全球率先的ICT公司服务了20余年，历任高档研发大众、研发部长、居品界限总司理的职务，他主导了半导体工艺装备中枢时间的战术布局，指导业务快速激动，打造了系列有竞争力率先的居品，杀青了事迹快速的成长。

他的演讲题目是《半导体工艺装备的挑战与机遇》。

以下为演讲原文：

女士们先生们，群众上昼好。起头相配感谢主理方给咱们提供了这么的一个好的契机，在春机盎然的季节集聚在上海。

今太空面春雨婆娑。好雨知时节，当春乃发生，新凯来亦然应季而生。咱们新凯来工业机器的主商业务是工艺装备和量检测装备。这几年来咱们一直潜心作念了一些时间准备和居品开发。今天很鼎沸能有这个契机代表新凯来跟群众共享这几年来咱们的一些纯粹的宗旨。

第四代工业立异呼之欲来，东谈主工智能产业给半导体行业带来的宽敞的空间。在这种趋势下，咱们的问题是——中国脉土的半导体装备产业到底能给咱们半导体的发展孝顺什么样的份额？孝顺什么样的时间力量来推动咱们所有这个词产业一块跳跃？

从不管是存储如故逻辑的演进来看，PPAC（功耗性能，面积以及成本）可能是咱们跨不外去、的不灭的追求的命题。不管是在Logic、DRAM，如故NAND，从咱们举座的发展来看，每一代半导体器件的演进，围绕着PPAC的性能都有10%到50%的提高。

由PPAC的提高，咱们不错看到半导体装备和器件主要围绕着两大类问题来处分咱们的一些勤勉：第一，念念尽一切想法来镌汰RC Delay；第二便是要把晶体管尺寸进一步微缩，作念到把更多面积来布局晶体管。那么从处分旅途上来看的话，无非三条旅途：

一、新材料的开发，由材料的跳跃来推动咱们举座性性能的提高。从尺寸微缩的角度来看的话，咱们可能有两类时间。第一类便是诳骗先进的光刻时间，把CD进一步的减轻。

家喻户晓，在先进的光刻时间方面，咱们当今濒临的一些逆境。这就促使咱们去探索是否有非光的时间来“补光”。行业对此也有一定的共鸣，访佛SAQP便是其中的一种处分步调。

面对光刻的套刻问题的，行业也奔向了遴荐性千里积等等一系列时间。可能有一条旅途，咱们用非光的时间，也便是用咱们的工艺装备，能够处分一部分光刻的问题。

第三类也基本上是咱们群众看到的一个行业共鸣。咱们2D的架构在面积上不得志性能的需求，那么下一步是不是不错走向3D？咱们的GAA，不管是在逻辑上如故在NAND上头，群众都在野这个标的作念探索。

关于这三条旅途上头来看的话，一代材料的开发，从场景到咱们的着实的工程应用，需要咱们行业的同仁群众沿路来奋力。

由于咱们CD的微缩以及多重曝光等工艺的应用，咱们会发现咱们下一代工艺的原子层刻蚀和原子层千里积的应用会徐徐变多。同期还带来另外一个问题，若是咱们用而且SAQP等多重曝光的时间，那么咱们可能看到咱们所有这个词全历程工艺的谈数可能会有20%的增多，这就会条目咱们良率以及每台开导的工艺窗口都要同等的跳跃。关于咱们的装备来讲，若是能够把它的工艺窗口扩大，这也会给咱们所有这个词公益flow良率的提高也会带来宽敞的上风。

同期，3D的架构会带来更多遴荐性，也会带来咱们在遴荐性以及在AND/ALE等多样时间的玄虚应用，也会对咱们的开导带来宽敞的挑战。

在新的装备时间上，在三类能量的不休基础上头，咱们要在三个维度有量级的提高：

第一，咱们需要更高的能量抑遏精度。那么不管是等离子体的能量，如故咱们热的能量，都需要更精确的抑遏。

第二，咱们看到广博的ALD和ALB时间的应用，需要咱们硬件的反馈速率要有倍数的提高。

第三，咱们开导的工艺窗口是不是能作念得更大？这亦然一个不灭的命题。

以等离子体和射频场的能量不休为例，从7纳米到3纳米的演进过程当中，咱们预测可能会有10倍的能量精度提高。从咱们硬件电路上头的时延同步以及反馈的速率上来看，它相似有着10倍的提高。比如说时延，可能会杀青从10毫秒到一毫秒的反馈速率的提高。

至于窗口的寻优，除了要在咱们的架构上头能够打开一些工艺窗口以外，咱们是不是有更优的赞助分析和提高成果的妙技？那么东谈主工智能的智能调优、大数据，包括咱们刚劲的硬件的计较，这亦然对咱们硬件和算法提议了更新的一个命题。

等离子体这一类能量不祥占了咱们工艺装备的5成。那么以这类的能量的不休来看，行业内基本上是两类的这个不雅点：一类是仿真派，另一类是推行派。这两派的不雅点群众相互交汇，在时间上头群众沿路竞争了许多年。

从已往两年来看，行业内率先的厂商依然被国内国际的头牌大厂收购了，这个背后是什么样的一时间发展原因呢？咱们的宗旨是在着实到了渺小的能量不休之后，咱们的正向盘算智商，咱们的仿真与咱们的会诊它是分不开的。只须着实把咱们的腔室的第一性旨趣搞透，才智够引导咱们畴昔的详尽化盘算标的。这亦然咱们新凯来在几年前就布局了等离子体仿真软件的原因。

咱们从原子的物理模子开动，到腔室的一些化学，包括反应的模子，以及到会诊，咱们构建了全面的仿真会诊的盘算智商。咱们当今的这套仿真软件智商不错对标行业首先进公司的仿真精度和准度。那么咱们这套软件叫问源，取自于咱们一句诗——问渠哪得清如许，为有起源流水来。

刚才讲到仿真，这是行业的一个标的，那么新凯来在这个所在咱们依然布局完成。

那么光有盘算，奈何来杀青？内容上从盘算到杀青这个过程，也短长常挑战。比如说咱们的射频源、匹配器、卡盘、线圈磁控管、气体阀、气体阀以及探伤器，也要同步能够适配咱们的建树。新凯来亦然从系统盘算到硬件架构，再到器件和算法上头都作念了齐全的布局。这是在等离子体时间方朝上头给群众先容一下咱们举座的时间的阐扬情况。

从硬件的反馈速率来看的话，咱们看到从传统CVD/ETCH到ALD和ALE的应用飘荡，会给咱们所有这个词开导的瞬态反馈时分以及相识时分，亦然有一个量级的提高。

那么，奈何能够才智够相配好的一个ALD本性？咱们觉得，关于一台开导，它的所有这个词抑遏系统短长常要害的。已往群众看到用的大多数是PLC抑遏系统。已往几年，咱们行业的同仁依然基本上看到咱们在先进的处理器和逻辑的系统上头的应用徐徐会多起来。那么奈何样才智够把咱们的硬件的系统作念到快。准、稳，这是一个畴昔避不开的命题。

有见及此，新凯来构建了全套的自研的抑遏系统。与传统的PLC比较，咱们现时的开导依然是能够在咱们的抑遏智商上有一个倍率的提高。

瞻望畴昔，咱们的工艺窗口是一个大的挑战，那么有什么样的步调能够把咱们的硬件的窗口作念大。能够给咱们工艺工程师提供一个相配便捷快捷的操作的一些步调。那么咱们看AI的应用，从半导体装备的物理模子以及盘算数据，到咱们晶圆厂的举座的运营数据以及功率模子，这个所在康庄大道。咱们开导有万千的参数，万千的运行过程当中的多样本性。咱们还莫得着实的把它诳骗起来。大数据的应用以及咱们物理模子的玄虚的仿真模子，能够撑捏咱们杀青一些在智能的调优寻优以及在面向畴昔的智能惊叹方朝上头，能够给咱们提供一些引导。

咱们在咱们的底层的硬件与软件架构上头，咱们依然作念了面向畴昔的AI智能调优和智能运维的布局调试。针对某一个要害部件，咱们作念了一些尝试，在它的所有这个词人命周期当中，咱们不错它的寿命准确率能作念到10天以内，这是基于它的器件运行的物理本性，迪士尼彩乐园极速赛车以及它对工艺结构的影响，最终作念出来的一个模子，也但愿咱们在畴昔的大的模子上头，能够给咱们的客户提供一个比较优的处分决策。

新凯来举座的盘算理念是一代工艺，一代材料，一代装备。咱们但愿在底层的精确能量抑遏、智能的窗口调优以及快稳准的抑遏系统上头，给咱们的工艺的开发以及材料的演进插上翅膀。但愿在畴昔的更详尽化的不休上头能够提供一个更优的处分决策。

基于上头的理念，新凯来在已往的几年开发了6大类工艺居品和检测居品，涵盖了咱们的逻辑和存储的多样场景。况且，咱们在先进的架构上头支捏向畴昔演进。

半导体物理极限的探索，是咱们半导体东谈主不灭的追求，亦然星辰大海。新凯来也但愿秉捏咱们以时间为本的初心，能够和咱们的伙伴们沿路和洽创新，群众协同共赢，沿路面向畴昔。咱们也但愿能给咱们的客户一个新的遴荐。

芯天下、新遴荐、新凯来，感谢群众。

(内容来源：芯视点）

解码新凯来SEMICON首秀：

多款国产半导体装备皆亮相，

能否重塑行业步地？

在SEMICON China 2025展会现场，深圳新凯来工业机器有限公司推出遮掩半导体制造多个中枢历程的工艺装备与量检测装备矩阵。这家企业已酿成得志逻辑、DRAM、NAND居品制造需求的居品矩阵，并支捏从PlanarFET到GAAFET的工艺演进。

3月27日，在SEMICON China 2025展会现场，深圳新凯来工业机器有限公司（以下简称新凯来）的展位颇受怜惜。这家半导体装备厂商遮掩半导体制造多个中枢历程的工艺装备、量检测装备矩阵。

半导体开导的研发并非一旦一夕之功，而新凯来依然酿成居品矩阵，得志逻辑、DRAM（内存）、NAND（闪存）居品的制造，并支捏PlanarFET（场效应晶体管）、FinFET（鳍式场效应晶体管）向GAAFET（全环绕栅极晶体管）工艺演进。

2022-23赛季，在2023年3月底，科尔当时说：“我们要找到合适的阵容轮换和搭配。”

“工艺装备”多品类居品矩阵

证实头豹照看院，半导体开导可分为前谈开导和后谈开导，前谈开导主要用于晶圆制造，波及硅片加工、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜千里积、清洗、抛光、金属化等工艺，所对应的中枢专用开导包括光刻开导、刻蚀开导、清洗开导、离子注入开导、薄膜千里积开导、机械抛光开导、测量开导等，其中光刻开导、刻蚀开导、薄膜千里积开导是半导体前谈坐褥工艺中的三大中枢开导。

证实国际半导体产业协会（SEMI），前谈开导（晶圆制造）投资量占半导体开导投资量约80%，封装和测试开导占比辞别约为10%和8%。在晶圆制造开导中，刻蚀开导、薄膜千里积开导和光刻机辞别占前谈开导价值量的22%、22%和17%。

这次新凯来推出的“工艺开导”中，就包括刻蚀开导和薄膜千里积开导。新凯来将其刻蚀开导定名为“武夷山”，居品包括武夷山1号、武夷山3号和武夷山5号。

其薄膜开导遮掩了CVD（化学气相千里积）、PVD（物理气相千里积）和ALD（原子层千里积）三大主要薄膜千里积开导。其中CVD有1号和长白山3号；PVD有普陀山1号、普陀山2号和普陀山3号；ALD有阿里山1号、阿里山2号和阿里山3号。

除了两大中枢开导外，新凯来也推出外延滋长开导（EPI）和RTP（快速热处理开导），EPI包括峨眉山1号、峨眉山2号和峨眉山3号；RTP包括三清山1号、三清山2号和三清山3号。

SEMICON China 2025展会现场 图片来源：每经记者 朱成祥 摄

杂乱薄弱关节，推出多种量测居品

证实头豹照看院，举座上，我国在去胶、清洗、刻蚀开导方面国产化率较高，在CMP、热处理、薄膜千里积上近几年国产化杂乱彰着，而在量测、涂胶显影、光刻、离子注入等开导上，仍较为薄弱。

这次新凯来推出的居品中，光学量测居品包括天门山DBO（衍射套刻量测）、天门山IBO（图形套刻量测）；PX（物理和X射线）量测居品包括沂蒙山AFM（原子力显微镜量测）、赤壁山XP XPS（X射线光电子能谱量测）、赤壁山XD XRD（X射线衍射量测）和赤壁山XF XRF（X射线荧光光谱量测）；功率检测居品包括RATE-CP（晶圆电性能检测）、RATE-KGD（功率Die电性能检测）和RATE-FT（功率单管和模组电性能电测）。

值得一提的是，这次新凯来推出的EPI，亦然国内半导体开导龙头中微公司、朔方华创的发力标的。

朔方华创（002371.SZ，股价415.9元，市值2220.5亿元）2023年年报透露：“外延（EPI）开导是材料滋长的要害开导，无为应用于集成电路、功率半导体、化合物半导体等界限。规定2023年底，朔方华创已发布20余款量产型外延开导，累计出货超1000腔。公司自主研发的12英寸常压硅外延开导，杀青了对逻辑芯片、存储芯片、功率器件及特质工艺的全遮掩，且已全部成功量产，成为客户的基线居品。”

中微公司（688012.SH，股价184.31元，市值1147.08亿元）早在2023年2月的投资者猜想行动纪录表中就示意：“（公司）有卓绝十年作念单晶硅外延开导的莳植，是以咱们当今紧锣密饱读开发在硅和锗硅方面在集成电路需要的EPI开导。因为咱们有长足的薄膜开导莳植，咱们有信心能开发出很好的EPI开导。”另据中微公司2024年齿迹快报：“公司EPI开导已成功进入客户打量产考据阶段。”

此外，中微公司也在积极拓展量检测业务。中微公司2024年12月公告透露：“跟着微不雅器件越作念越小，检测开导也成为更要害的开导，市集增长速率很快，成为占半导体前谈开导总市集约11%的第四掀开导门类。检测开导市集主要分为光学检测开导和电子束检测开导，其中公司已通过投资布局了光学检测开导板块，而超微公司（中微公司控股子公司）辩论开发电子束检测开导，将不绝扩大对多种检测开导的遮掩。电子束量检测开导是芯片制造和先进封装工艺过程良率抑遏的要害开导，对我国发展以东谈主工智能为代表的新质坐褥力至关重要，是我国的短板之一，亟待杀青零的杂乱。”

(内容来源：每经记者 朱成祥 图片来源：每经记者 朱成祥 摄）

深企新凯来初次公开亮相即出圈，崇敬东谈主现场解码中枢时间

在上海国度会展中心举行的2025中国国际半导体开导和材料展（SEMICON China 2025）上，深圳新凯来工业机器有限公司（SiCarrier，以下简称“新凯来”）展示了多款新品，成为全场焦点。

图源 / 第一财经

新凯来 是一家以从事计较机、通讯和其他电子开导制造业为主的企业。 此前，该公司一直保捏着低调的姿态，收罗曝光度相配低，大多都是其专利信息。

这次新凯来初次公开亮相，就带来了四大类（扩散、刻蚀、薄膜和量检测）居品展示涵盖了EPI、RTP、ETCH、CVD、PVD、ALD、光学量检测、PX量测和功率检测应用在内的三十款把握开导。

其中，备受留神标新品EPI“峨眉山”居品、ETCH“武夷山”居品、CVD“长白山”居品、PVD“普陀山”居品、ALD“阿里山”居品，均以中国名山定名，时间对标国际顶尖水平。证券时报旗下新媒体“券商中国”征引分析东谈主士觉得，新凯来有可能再度拉高中国科技的热度。

半导体行业进入先进工艺时期

新凯来以时间创新冒昧挑战

当作芯片供应链上的中枢关节，芯片开导是所有这个词制造历程的基石。跟着芯片工艺的不绝演进，对开导的条目也在捏续提高，尤其是先进工艺的激动，更是对半导体开导的迭代提议了严峻挑战。

新凯来怎么冒昧这一挑战？

在本年Semicon China同期举办的IC产业链国际论坛-制造开导与制程分论坛上，新凯来工艺装备居品线总裁杜立军发布了题为《半导体工艺装备的机遇与挑战》的演讲。杜立军示意，新凯来正在诳骗多重图形曝光等时间提高芯片制造工艺。

跟着晶体管的结构越来越立体，尺寸越来越小，芯片承载的晶体管数目从数十亿跃升至数百亿，也给芯片的制造工艺带来前所未有的挑战。杜立军在时间共享中示意，半导体行业进入到先进工艺时期，芯片制造将主要围绕着晶体管的尺寸微缩和RC delay（蔓延电路）这两个方面来处分问题。

深圳市新凯来时间有限公司官网

他提议，芯片制造工艺濒临几大挑战。举例在介质薄膜千里积工艺方面，濒临材料多元化、高台阶遮掩率和高刻蚀遴荐比的难题；金属互连工艺的演进也条目领有更小的要害尺寸和更高的RC挑战；金属气相千里积（CVD）时间也给新材料和高遴荐性千里积提议了焦虑需求。

杜立军示意，新凯来在研讨怎么诳骗东谈主工智能调优来提高成果，从硬件和算法上进行参加。 举例，公司依然打造了一个遮掩原子的物理模子到腔式化学反应模子的仿真软件。

“在半导体开导方面，新凯来在系统架构、硬件、器件和算法方面全面布局。”杜立军说。

深圳市新凯来时间有限公司官网

（内容玄虚自：第一财经、券商中国）

上海半导体展，深圳国产半导体开导“芯贵”被围不雅

3月26日，2025中国国际半导体开导和材料展（SEMICON China 2025）在上海国度会展中心举行。

深视新闻记者留神到，在这个全球半导体产业中极具影响力的年度嘉会中，一家此前鲜少出头的中国公司——深圳新凯来工业机器有限公司（以下简称“新凯来”）成为全场焦点。

会场内，展位参不雅者源源络续，现场发布的一连串新品，更是成为群众争相拍摄纪录的对象；会场外，多家半导体行业专科媒体、财经专科媒体接踵发出成心报谈，聚焦这家来自深圳的“半导体新贵”。

图源 / 半导体产业纵横

本次新凯来通过像片和模子的样貌展示了其多款居品，其中怜惜度最高确当属EPI“峨眉山”居品、ETCH“武夷山”居品、CVD“长白山”居品、PVD（普陀山）居品、ALD“阿里山”居品。

据了解，EPI外延层是半导体制造中的重要时间，尤其是在先进制程和第三代半导体界限。ETCH蚀刻是半导体制造工艺，微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一谈特地重要的设施，是与光刻相猜想的图形化（pattern）处理的一种主要工艺，面前主要由国际巨头主导；CVD化学气相千里积是半导体制造中需求量最大的开导之一，PVD物理气相千里积、ALD原子层千里积等都是半导体制造工艺当中相配重要的高端开导。

图源 / 半导体产业纵横

新凯来这次亮相，为何劝诱如斯高的怜惜？这家新锐国产半导体开导厂商，究竟什么来头？

据天眼查数据透露，新凯来工业机器确立于2022年，注册成本超10亿元；其母公司新凯来时间有限公司则确立于2021年，注册成本15亿元。

据新凯来时间的官网透露，该公司致力于于于半导体装备及零部件、电子制造开导的研发、制造、销售与服务。为半导体行业客户提供创新时间与居品处分决策，捏续撑捏行业健康发展。将国内最优秀的电子制造处分决策和坐褥测试装备推介给行业客户，促进产业智商提高。

公司中枢团队具备20年以上电子开导时间开发莳植，并和洽了繁多国内半导体制造开导和零部件合营伙伴，为国内半导体开导厂、FAB厂、电子电器开导厂、照看机构提供先进的处分决策，关联居品无为应用于国内顶级制造企业和照看、测试机构。

深圳新凯来时间有限公司官网

在 AI、智能汽车、机器东谈主等前沿科技蕃昌发展的海浪中，半导体产业正迎来前所未有的机遇与挑战。

“现时首要处分先进制程问题，国际工艺节点依然走的更率先，咱们也会朝这个标的捏续地奋力，这需要时分，但咱们有信心。”新凯来量检测开导居品线崇敬东谈主郦舟剑在给与媒体采访时示意。

(内容来源：深圳卫视深视新闻 部分来源 / 趋势捕捉 财联社 新浪财经）

来源：深圳梦（微信号ID：SZeverything）玄虚

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