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迪士尼彩乐园3登录 中国DUV要道本领获紧要冲突
发布日期：2024-10-10 02:45 点击次数：55
据闪德资讯获悉迪士尼彩乐园3登录，外洋光电工程学会（SPIE）报谈，中国科学院（CAS）磋议东谈主员奏效研发冲突性的固态深紫外（DUV）激光器，能辐照193纳米的有关光（Coherent Light），该波长当今被用于半导体曝光本领。
而这项本领已在中国履行室中已毕。
若是光源本领概况扩张，此安装就不错用来制造曝光缔造。
以传统本领来看，ASML、Canon和Nikon的DUV光刻机应用氟化氩（ArF）准分子激光器产生193纳米光源。
这种激光器内包含氩气与氟的夹杂物，以及氖气动作缓冲气体。
当施加高压电脉冲时，氩原子与氟原子被激勉，顷刻变成不相识分子ArF（或准分子），此分子赶紧复返基态，开释出波长为193纳米的光子。
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由于激光器以短而高能量的脉冲口头辐照这些光子，输出功率高达100W-120W、频率在8~9 kHz。
然后这束193纳米光束透过光学系统进行整形、指点与相识后，当晴明干与光刻扫描器时，迪士尼彩乐园全民彩票会透过光罩（photomask）将芯片电路图案曝光至晶圆上。
中国科学院斥地的测试安装接纳全固态次序产生193纳米的光，彻底幸免使用气体的准分子激光。
它先使用好处的Yb：YAG晶体放大器，产生1030纳米的激光束，随后该光束被分红两条光路，每条光路皆经由不同的光学制程，以产生193纳米所需的元件。
在第一条旅途中，1030纳米光束透过四次谐波产生（FHG，Fourth-Harmonic Generation）疏导成258纳米的光束。
“四次谐波产生”是种非线性光学制程，可将激光束疏导成原始波长的四分之一。
在第二条旅途中，1030纳米光束的另一半被用于泵浦光学参数放大器，产生功率为700mW的1553纳米光束。
这两个光束之后在串联的三硼酸锂（LBO）晶体中纠合，产生波长为193纳米的有关光，平均功率为70mW，责任频率为6kHz。
中国科学院暗示迪士尼彩乐园3登录，测试系统的线宽窄于880MHz，其光谱纯度性能可比好意思当今使用的商用系统。